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四探針プローブの(a)概略図と(b),(c)SEM像である。FIB-CVD三次元構造体は兵庫県立大学のSMI2050(SIINT社製)で作製した。[1]ナノスプリング部を含むプローブの高さは10μm、プローブ直径は110nm、ナノスプリング径は380nmである。図２はプローブと導電性試料のコンタクト

●取扱いプローブ事例（下記事例は、コンタクトプローブ（ソケット型）です。）■プローブ先端形状寸法■プローブ標準仕様バーレル?白銅（金メッキ）スプリング?ピアノ線

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